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电子洁净厂房建设新方向
发布时间:2023年09月11日

近年来,电子产品发展很快,向大屏幕、平面化、薄型化、高清等方向发展迅猛,大规模集成电路,已从微米发展到亚微米再到纳米。所以,电子工业洁净厂房的建筑设计,必须适应新时期的需要。本文就结合实际项目设计经验对电子洁净厂房的建筑设计进行探讨分析。

 

1 电子洁净厂房建筑设计特点

厂房设计的根本原则是满足工艺生产的要求。电子洁净厂房有三个最主要的特点:第一生产工艺对建筑体量的要求越来越大,投资规模也越来越大;第二,对于环境的洁净度、温湿度、防微震都有严格的要求;第三,在电子产品如电子材料、半导体器件、集成电路、液晶显示器件等生产过程中,需要使用甲苯、丙酮、硅烷等易燃易爆物品,火灾危险性较高,它们对洁净厂房构成潜在的火灾威胁。

 

2 电子洁净厂房建筑设计需求分析

首先,由于电子洁净厂房的体量较大,在设计时需要根据具体的需求进行场地的布置,划分不同的功能区域的问题,以满足生产过程对于厂房的要求。生产区域需要尽量靠近硅烷站、动力站、废水站以及固废站等区域,方便进行管理并保证生产安全,而且能够简化管线的布置。与此同时,厂房的规模更大,就应对火灾危险性的等级与耐火等级进行合理的定义,规范防火区域的划分,设计合理的安全疏散通道。

其次,由于电子洁净厂房对温湿度与洁净度具有极高的要求,需要采取行之有效的措施来提高厂房环境的洁净度。与此同时,厂房对于防微振控制的要求同样较高,需要尽量降低厂房内发生微小振动对产品生产的影响,提高生产效率。再次,由于电子产品生产需要使用大量的易燃易爆材料,火灾隐患高于其他种类产品的生产过程。并且厂房内的空间紧凑,疏散路线的确定具有较大的难度,在设计中需要合理地安排疏散路线,防止因火灾造成严重的损失。

 

3 新形势下电子洁净厂房建筑设计分析

3.1电子洁净厂房安全疏散设计

安全疏散设计是防火设计的重要内容,建筑物发生火灾时,为避免建筑内人员因火烧、烟熏中毒和房屋倒塌而遭到伤害,必须尽快撤离,室内的物资也要尽快抢救出来。相关电子工业洁净厂房设计规范中规定洁净厂房的安全出口的设置,应符合下列规定:每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数目,应符合相关洁净厂房设计规范中相关规定;安全出口应分散布置,并应设有明显的疏散标志;安全疏散距离应符合相关建筑设计防火规范的规定。安全疏散用门应向疏散方向开启,并应设观察玻璃窗;丙类生产的电子洁净厂房,在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后,安全疏散距离可按工艺需要确定,但不得大于第2款规定的安全疏散距离的1.5倍。

3.2电子洁净厂房的防火设计

防火分区是采用具有一定耐火性能的分隔构件划分的,能在一定时间内防止火灾蔓延。电子洁净厂房的建筑防火设计要考虑以下几个方面:

(1)电子洁净室为保证厂房的洁净度,避免开窗形成密闭的空间,保证气密性。这样导致火灾发生后,大量的烟气令人窒息昏厥,而外墙无窗难以发现室内的火灾,对疏散和

扑救都不利,所以相关洁净厂房设计规范明确规定:洁净厂房同层洁净室外墙应设可供消防人员通往厂房洁净室的门窗,其门窗洞口间距大于80m时,应在该段外墙的适当部位

设置专用消防口。相关建筑设计防火规范提出了更严格的要求:供消防救援人员进入的窗口的净高度和净宽度均不应小于1.0m,间距不宜大于20m且每个防火分区不应少于2个。

电子洁净厂房设有人员净化、物料净化设施,各生产区域因洁净度等级差导致建筑内部区划分隔复杂,建筑内部平面布置曲折,工作人员平时出入要通过曲折迂回的路线,增加了疏散路线上的障碍,延长了安全疏散的距离和时间。所以相关洁净厂房设计规范明确规定:安全出入口应分散布置,从生产地点至安全出口不应经过曲折的人员净化路线,并应设有明显的疏散标志。洁净厂房设备密闭性良好,并设有气体或可燃蒸汽报警装置和灭火装置时,应按丙类设防。可见,电子洁净厂房的定性为丙类建筑。根据其火灾特性,为了保障财产、人身的安全,严格控制洁净厂房的耐火等级,相关电子工业洁净厂房设计规范中明确规定:洁净厂房耐火等级不应低于二级。

3.3电子洁净厂房洁净度设计

洁净厂房设计时如何控制洁净度对于建筑设计来说尤为重要。电子洁净厂房洁净度设计要考虑以下几个方面:

(1)工作人员及物流净化。对于电子洁净厂房内工作人员的净化,必须遵循由外向内,逐步净化的净化原则,工作人员在进入厂房后必须人员净化采用一二次更衣再进入准洁净区域,在这个区域内,需要通过空气吹淋处理才能够进入洁净区域。在进行厂房设计时必须合理安排这一路线,防止因人员走动造成交叉污染。洁净厂房的物料或设备入口必须单独设置,这些入口不得有人员通过,物料与设备在进入洁净区域前,必须经过净化处理,在进行厂房设计时必须为其设置物料净化区域,这个区域与洁净区之间需要通过传递窗或气闸室连接,完成净化的物料必须通过传递窗或气闸室机内洁净区,以确保物料与设备的进入不会对洁净区的洁净度造成影响。

(2)装修材料的选择。对电子洁净厂房的洁净度进行控制,不仅需要控制空气中的尘粒,同时还要对室内装修使用的材料进行有效的控制。在对洁净厂房进行室内装修时,不允许使用能够释放影响电子产品装修材料,生产区地面为防静电高架地面,地面、回风技术下夹层墙面、顶棚、光刻间密梁结构均采用环氧树脂涂装,墙面及吊顶均为气密性好的净化金属壁板。动力区地面采用防尘涂料地面、防腐地砖。结构设计应尽量保持平整。并且还要确保围护结构的密闭性。一般情况下,围护结构的密闭性需要通过减少结构的中的缝隙或提高缝隙密闭性来解决。

 

4 结束语

由上可知,在新形势下对电子洁净厂房建筑进行设计的过程中,必须在满足各项规范要求的前提下对工艺流线进行合理的布局,并保证防火区域划分与安全出口设置的科学性。


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