近年来，随着我国经济的高速发展，以薄膜晶体管液晶显示器（TFT－LCD）和有机电激光显示器（OLED）生产用洁净厂房为代表的电子工业洁净厂房发展尤为迅速。电子工业的进步，对空气的净化、洁净室温湿度的控制、微粒粒径的控制等提出了更高的要求。由此，在洁净厂房工程建设过程中，更为精细化的施工管理及监督工作尤为重要。

1 洁净厂房概述

洁净厂房也叫无尘车间、洁净室（CleanRoom）、无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特性。如图1所示。

2 准备阶段工程管理要点

（1）工艺布局应避免人流、物流之间的混杂和交叉，是否分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并在各自的入口处设置相应的净化设施。

（2）工艺设备布局与进回风口位置不能有冲突，设备若阻挡进回风口，影响气流，会影响温度变化梯度。

（3）工艺设备数量不确定的区域，空调系统宜预留足够余量，并考虑增加的工艺设备本身散热。

（4）关注各种水电预留管线位置、容量与工艺设备的配套，满足工艺设备需求。

（5）净化空调系统的新风自室外的吸入口位置，应设置在远离本建筑或其他构筑物、装置排放有害物质或可燃物的排气口。

（6）局部排风系统排出的有害气体，当其有害物质的含量超过排放标准或环境要求时，应采取有效净化措施。

（7）洁净生产区、技术夹层、机房、站房均应设火灾探测器，其中洁净生产区、技术夹层应设置智能型探测器。

3 施工过程中工程管理要点

在整个洁净室施工过程中，要遵循枟洁净施工及验收规范枠（JGJ7190），并根据施工场所洁净度控制要求的不同，具体分三个施工阶段，施工单位在不同的施工阶段，应分级对洁净区域进行管制，不同级别管制阶段，洁净室内施工侧重点不同。

3.1一般洁净阶段

一般洁净阶段，指土建围护结构已完成，属于常规的设备安装，包括机械设备、送排风系统及吊顶支架安装，对施工现场的清洁程度没有特殊要求。

（1）所有人员必须从规定的出入口进出，必须换上软底球鞋方可进入洁净区，并且不得将软底球鞋穿出洁净区外。除施工人员及管理人员外闲杂人等一律不得进入洁净区。

（2）进入洁净区前施工用机具、工具、材料及附件等必须在室外清洁并擦拭干净，不得有油、锈及灰尘等，并且只能从规定的出入口进出。梯脚、施工机具底脚必须有橡胶软底。

（3）洁净区内搬运物料及机具搬运应轻拿轻放，防止碰撞壁板或顶板。工具或材料搬运时必须完全离开地面，不得在地面上拖行。管道等长度≥1.5m的材料必须由两人进行搬运，一人拿一端，不得一人独自搬运。

（4）由施工产生的任何废弃物必须随手清扫，不得留任何废弃物在现场。不用的工具、材料必须运离洁净区。

（5）凡进行具有污染性的工作时，必须使用吸尘器同步清洁或将施工区域用塑料薄膜隔离起来。

（6）现场施工必须做好环氧地面的保护工作。如需堆放材料必须垫塑料薄膜，较重的材料必须垫用胶带包裹好的木方。

（7）刷漆或刷涂料时地面必须另外用板保护，油漆、涂料及其施工设备必须随手携带，不得在现场存放。

3.2非常洁净阶段

（1）进入洁净管制区域施工必须佩戴安全和洁净合一的胸卡，缺一不可。

（2）人流物流分开，人员必须从人流控制室出入，材料、施工设备必须从物料控制室进入。

（3）洁净室严禁带入香烟、食物、饮料、布拖把、油类、生锈的工具、扫帚、砂纸、以及未经批准进入的化学品。

（4）运往洁净室的材料、设备必须清扫干净并包裹好，在洁净区外拆除外包装。

（5）管道在施工前必须先进行清洗、封口，施工过程中管道畅口必须随时封口，在搬运、安装过程中应防止二次污染的发生。

（6）禁止产尘作业，不得已时必须使用真空吸尘器同步进行清扫。

（7）严禁施工人员碰触已安装完的设备或站于设备上方施工。

3.3超洁净阶段

超洁净阶段，指洁净室结构完成后的最后施工阶段，在此阶段，主要进行高效过滤器、风口、风淋室、洁净灯具、洁净管道、设备等对洁净等级有极高要求的设备安装、工艺管线安装和一些测试工作。

（1）进入洁净室的人员应穿着全套洁净服，包括口罩、发罩、手套、洁净鞋等，且洁净服袖口应套住手套口，各施工单位人员自备洁净服等洁净用品。

（2）不准使用非洁净室用纸张、签字笔等，图纸必须塑封。必须使用木材类的，应采取塑料薄膜包裹等防尘处理措施。

（3）不得在洁净室内使用电焊机、氧气、乙炔或切割机等进行产生烟雾的作业。

（4）除施工外，任何人员不得掀开架空地板，不得已掀开时应在最短的时间内将其复原。

（5）人员通过风淋室时步行速度要慢（每秒2～3步），胳膊要前后摆动。

3.4　三个阶段遵循四项原则

三个阶段工程管理的四项原则概述，见图2所示。

4 验收和设备搬入阶段工程管理要点

洁净室的验收一般分为工程施工验收、功能验收和使用验收，在进行验收前，应由业主和承包商先确定洁净室的占用状态。洁净室内各专业工程完工后，并进行了单机试转、系统整体试运转，这个阶段需要进行工程施工验收，并收集和整理完整的施工记录资料、检测记录和相关设备的资料。功能验收和使用验收应由业主与承包商在合同中确定，并按规定时间和规定的内容由第三方进行相关测试后进行验收，系统测试前，施工单位项目经理部应编制详细可行的测试方案，测试主要内容包括：洁净度、温湿度、压差、气流组织、自净，测试阶段，特别提醒注意的是在测试空调系统前，首先应对水电气自动化控制分系统进行调试测试，确保达到设计参数要求，对温度有严格要求的洁净系统，风管上一般加电热风机箱单项进行调试测试。洁净度：各种电子产品的空气洁净度等级是根据产品生产工艺要求确定的，以参建的某TFT－LCD电子厂房为例，对空气洁净度等级的要求如表1所列。

压差：洁净区与非洁净区之间、不同等级洁净区之间的压差不低于10Pa，相同洁净度等级不同功能的操作间之间保持适当的压差梯度，以防止污染和交叉污染。

气流组织和自净：各种气流方式无导致污染的风险，例如，应采取适当的措施确保气流不会将操作或设备以及操作人员散发的粒子吹向洁净要求高的区域。生产操作全部结束，操作人员撤离后现场并经15～20min（指导值）自净后，洁净区达到“静态”标准。各种参数的检测，需要由专业的机电工程调试检测（TAB）技术服务公司进行，该TFT－LCD电子厂房在过程建造中严格执行了洁净室管理重点，完工后经检测达到了设计性能要求，实现了该项目的提前量产和盈利，电子产品良品率达到98％以上。

工艺设备搬入和安装阶段，对洁净厂房洁净区的使用管理同样有较高要求，建议建设单位应由专业部门专人管理，定期进行功能检测，对初效过滤器及时清洗，中高效过滤器及时更换，空调水系统过滤器定期清洗，在生产间歇期间应对精华空调系统进行检修，重点是：对各种电动执行机构动作情况进行测试，温湿度、压差传感器的敏感度测试，确保运行安全和运行效率。日常应加强对作业员工的行为检查，严格按洁净室的要求配备员工的装备，防止个别员工违规操作，确保生产环境符合要求。

5 结束语

随着电子工业的飞速发展，科技的不断更新，洁净厂房的建设标准越来越向大体量、高级别、高纯物质、防微振、防静电和安全高要求的方向发展，而在洁净厂房建造过程中，还需要面临工期紧迫、交叉施工多、工序组织难度大等方面的困难，施工管理工作也更加繁重，建造阶段就需要项目管理团队耐心、细致的工作，要遵循洁净室内的建造管理原则，使洁净室

能达到设计所赋予的功能，达到生产工艺所需条件，项目管理部需要在洁净厂房建造过程中和已建成的厂房运行中不断总结经验和教训，为业主提供更优质的服务，为电子工业的发展作出贡献。